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雙氧水生產(chǎn)工藝原理是什么?
過氧化氫是一種重要的化工原料,化學(xué)式為H2O2。純過氧化氫是淡藍(lán)色的黏稠液體,可任意比例與水混溶,是一種強(qiáng)氧化劑,水溶液俗稱雙氧水,為無色透明液體。
雙氧水的生產(chǎn)方法主要有電解法、蒽醌法、異丙醇法、氧陰極還原法和氫氧直接化合法等,蒽醌法是生產(chǎn)雙氧水的主要方法,國內(nèi)99%以上的雙氧水裝置采用該工藝。
雙氧水根據(jù)濃度及應(yīng)用領(lǐng)域不同可分為電子級(jí)、食品級(jí)、工業(yè)級(jí)等。電子級(jí)雙氧水是生產(chǎn)電子集成電路不可或缺的化學(xué)試劑,在半導(dǎo)體制程前端硅片清洗和蝕刻完成后的剝離光刻膠步驟。
電子級(jí)雙氧水精制方法有蒸餾法、離子交換法和膜分離法等。工業(yè)雙氧水的制備方法包括電解法、仲醇氧化法和烷基蒽醌法。蒽醌法是工業(yè)中生產(chǎn)過氧化氫的最主要方法,其工藝為烷基蒽醌(例如2-乙基蒽醌)與有機(jī)溶劑配置成工作溶液,在壓力0.3MPa,溫度55~65°C條件下和催化劑(例如靶)存在條件下通入H2,實(shí)現(xiàn)氫化還原后,后續(xù)經(jīng)萃取、再生、精制和濃縮制得質(zhì)量分?jǐn)?shù)為20%~30%的過氧化氫水溶液。
雙氧水后處理工序是什么
需要經(jīng)過“工業(yè)雙氧水-超純水-濃度調(diào)節(jié)-特殊分離-樹脂吸附-離子交換-精密過濾-凈化灌裝-包裝”的工藝流程。
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